Ионно-лучевые конусы

Конусы ионного луча SIKAIDA являются основными компонентами систем имплантации и передачи ионного луча. Изготовленные из современных керамических материалов высокой чистоты и обработанные с помощью прецизионного литья под давлением и высокотемпературного спекания, они отличаются чрезвычайно низким содержанием примесей, высокой термостойкостью и стабильной точностью размеров. Их можно обрабатывать на станках со сложной геометрией, чтобы удовлетворить чрезвычайно высокие требования к допускам, что делает их пригодными для высокопроизводительных процессов ионной имплантации полупроводников.

Как профессиональный производитель в Китае, SIKAIDA поставляет надежные, экономичные и настраиваемые конусы ионного пучка клиентам по всему миру в области полупроводников, плоских дисплеев, оптики, микроэлектромеханических систем (МЭМС) и солнечной энергетики. SIKAIDA — надежный долгосрочный поставщик и специализированное предприятие по производству высококачественных компонентов ионно-лучевого процесса.

Материалы и производство

1. Материалы

В ионно-лучевых конусах используются материалы, в том числе оксид алюминия (Al₂O₃) с чистотой ≥99,9%, нитрид кремния (Si₃N₄) с чистотой ≥99,5%, оксид циркония (ZrO₂) с чистотой ≥99,8% и плавленый кварц (99,999%). Все материалы соответствуют строгим стандартам чистоты полупроводниковой промышленности и подходят для различных применений.

2. Производственный процесс

Производственный процесс включает в себя прецизионное литье под давлением, высокотемпературное спекание, прецизионную обработку на станках с ЧПУ, зеркальную полировку, а также автоматическую очистку и тестирование. Каждый процесс строго контролируется на предмет точности и качества, чтобы гарантировать, что конечный продукт соответствует отраслевым стандартам и требованиям клиентов.

Ключевые параметры продукта

1. Точность размеров

Конусы ионного луча имеют допуски, контролируемые в пределах ±0,05 мм, шероховатость поверхности Ra≤0,4 мкм, точность конусности внутреннего отверстия ±0,02 мм, соосность ≤0,03 мм и перпендикулярность ≤0,02 мм. Эта чрезвычайно высокая размерная точность эффективно обеспечивает точность передачи ионного луча.

2. Обработка поверхности

Обработка поверхности включает механическую полировку для получения зеркального блеска, покрытия с УФ-отверждением для улучшения свойств поверхности, устойчивые к царапинам покрытия для повышения износостойкости, а также кислотное травление и пассивацию для удаления примесей и повышения стабильности. Соответствующие методы обработки могут быть выбраны в зависимости от требований применения.

3. Показатели эффективности

Ионно-лучевые конусы работают в диапазоне температур от -196℃ до +800℃, обеспечивая стабильную работу в условиях экстремальных температур. Они обладают объемным сопротивлением ≥10¹⁴Ом·см и поверхностным сопротивлением ≥10¹²Ом, демонстрируя превосходные изоляционные свойства. Они также обладают исключительной стойкостью к плазменной и химической коррозии, что позволяет им адаптироваться к сложным технологическим средам.

Основные преимущества

1. Сверхвысокая чистота: чистота сырья превышает 99,9%, что сводит к минимуму загрязнение полупроводниковых пластин, обеспечивает стабильные электрические характеристики устройств и отвечает строгим требованиям чистоты при производстве полупроводников.

2. Чрезвычайно высокая геометрическая точность: обеспечивает постоянство размеров изделия во время массового производства, при этом погрешность конусности контролируется в пределах ±0,05 мм, а погрешность круглости ≤0,02 мм, что точно соответствует требованиям к установке и использованию систем передачи ионного луча.

3. Зеркальное качество поверхности: шероховатость поверхности Ra≤0,4 мкм, что эффективно снижает рассеяние ионного луча, улучшает однородность передачи ионного луча и дополнительно оптимизирует точность имплантации полупроводниковых устройств.

4. Стабильность в широком температурном диапазоне: стабильно работает в условиях глубокой криогенности и высоких температур. Материал имеет чрезвычайно низкий коэффициент теплового расширения, сохраняя превосходную стабильность размеров даже при изменении температуры, предотвращая влияние колебаний температуры на производительность.

5. Отличная изоляция и устойчивость к коррозии: эффективно предотвращает накопление заряда во время передачи ионного луча и выдерживает сильные кислоты, сильные щелочи и различные виды плазменной коррозии, обеспечивая долгосрочную стабильную работу в сложных технологических средах.

Индивидуальные услуги

Модели и размеры продуктов могут быть настроены в соответствии с различными требованиями процесса. Поддерживаемые форматы чертежей включают STP, STEP, IGS, XT, DXF, DWG, PDF и физические образцы. Что касается времени доставки, доставка образца составляет 4-7 недель, а доставка серийной продукции - 8-12 недель. Наша система качества соответствует стандартам ISO9001:2015, SGS RoHS, REACH и SEMI, всесторонне обеспечивая качество продукции и эффективность доставки.

Области применения

Ионно-лучевые конусы широко используются во многих областях, включая ионные имплантеры в производстве полупроводников, технологическое оборудование для плоских дисплеев, системы ионно-лучевого осаждения (IBD) и ионно-лучевого травления (IBE) в производстве оптических устройств, производство микроэлектромеханических систем (MEMS), ионно-легирующее оборудование для солнечных элементов и процессы ионной имплантации для силовых полупроводниковых устройств, таких как биполярные транзисторы с изолированным затвором (IGBT) и силовые MOSFET.

Часто задаваемые вопросы:

Вопрос 1: Какие материалы обычно используются в конусах ионного луча?

A1: В основном мы используем современные керамические материалы, такие как оксид алюминия высокой чистоты (Al₂O₃), нитрид кремния (Si₃N₄) и оксид циркония (ZrO₂). Эти материалы обладают чрезвычайно высокой чистотой, превосходной устойчивостью к высоким температурам и стабильными электрическими свойствами.

В2: Может ли UET предоставить индивидуальные характеристики и обработку поверхности? 

А2: Да. UET может настроить размер, конусность, тип материала и обработку поверхности конусов в соответствии с вашими технологическими требованиями. Мы обладаем обширным производственным опытом и можем удовлетворить конкретные требования клиентов.

В3: Как гарантируется точность и качество ионно-лучевых конусов?

A3: Мы применяем систему управления качеством ISO9001:2015 и оснащены высокоточным испытательным оборудованием, включая координатно-измерительную машину, тестер шероховатости поверхности и рентгенофлуоресцентный спектрометр, чтобы гарантировать, что каждая партия продукции соответствует строгим отраслевым стандартам.

В4: Каков цикл доставки?

A4: Цикл доставки образца составляет 4–7 недель, а цикл доставки серийной продукции — 8–12 недель. Конкретный цикл зависит от сложности изделия и количества заказа.